半導體產(chǎn)業(yè)是一個非常成熟的行業(yè)，當我們把計算機外，船上的小芯片數(shù)百萬顆恒星甚至百萬晶體管。為了使這些微小的晶體管工作，生產(chǎn)過程_在一個干凈的房間，集成電路制造廠需要數(shù)十億，數(shù)十億的投資，更因為需要一個干凈的房間。
所謂的潔凈室是一種人為的環(huán)境，其中包含顆粒通常是好的環(huán)境下，隨著集成電路技術的飛速發(fā)展，也增加了制造環(huán)境（無塵室）的清潔度要求的行業(yè)，甚至大小小于1微米的顆粒，也可能阻礙產(chǎn)品操作或減少其使用壽命。
由于納米技術的興起，半導體關鍵尺寸的不斷減小，集成電路產(chǎn)品集塵度的增加，更容易失敗或可靠性劣化。例如，當金屬粉塵顆粒的金屬線，可使金屬絲形成短路。如果有酸性離子化合物粉塵的金屬絲，有腐蝕性，所以潔凈室專用集成電路制造_的元素。
根據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準[聯(lián)邦標準209 E（財政司司長），1992 ]，可分為六個等級的無塵室。1，10級，100級，1000級，10000級，1級，00000級，如果清潔房間的塵埃粒子數(shù)描述，可以假定一個塵埃粒子大小0.5？米，例如，1級，10級，100級無塵室_粒數(shù)小于或等于1，10，100，如果粒子的大小是0.5？米，潔凈室等級應在一個特定的粒度級數(shù)表示。例如：100.2？米（粒徑范圍在0.2？米或更大，密度不_過75/立方？）1年級，0.1？米（粒徑范圍在0.1？米或更大，密度不_過35/立方英尺。）。和集成電路制造所需的無塵室清潔度_達到1000級以上。
為保持清潔干凈的房間，和工作人員有_的服裝規(guī)定；10000和100000個等級，_穿長袍，干凈的衣服，干凈的鞋子，帽子和口罩；1000級（含），都_穿上特殊的清潔連衣，清潔鞋裹體，并戴手套和下表面膜，清潔房間清潔定義。
粒子/立方英尺
系列0.1米0.2米0.3米0.4米0.5米
1357.531/
10350753010/
100/750300100/個
1000/，//10007
10000/，//1000070
00000/1/、/100000700
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